Microstructuri
|
LDR | 00078nx j2200049 | |
---|---|---|
001 | 54195 | |
250 | $a Microstructuri | |
901 | $a a $b a |
Lucrări:
1 lucrari in 2 publicatii in 1 limbi
2 records Page 1 of 1
- 1
Tehnologia structurilor micromecanice
de:
Antonescu, Simona; Pîrcălăboiu, Adina; Ionaşcu, Georgeta
(Text tipărit)
Tehnologia microsistemelor şi microrobotică
de:
Fatikow, Sergej; Rembold, Ulrich
(Text tipărit)
Subiecte
Tehnologie miniaturizată
Rotgenolitografie
Mecanică fină
Motor electrostatic
Electronolitografie
Ionolitografie
Microgalvanizare
Procedeu LIGA
Fizică
Microstructuri
Litografie industrială
Mecanică
Tehnologie
Roboţi
Microprelucrare
Siliciu
Informatică
Calculatoare
Eroziune chimică
Fotolitografie
Micromecanică